真空泵是指運用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。

簡單而言，真空泵是用各種各樣方式在某一密閉空間中改進、造成和保持真空泵的設備。在泵腔內產生根據轉動造成體積的轉變 而將氣體排出來泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積擴大，真空值減少，將器皿內氣體吸進泵腔，在排氣管全過程中體積縮小，氣體壓強擴大，最后根據骨架密封將吸進的氣體排出來泵外。

按真空泵的原理，真空泵大部分能夠分成二種種類，即氣體收集泵和氣體傳送泵。

特點

(1)在較寬的工作壓力范疇內有很大的泵效；

(2)轉子具備優良的幾何圖形對稱，故震動小，運行穩定。轉子間及轉子和外殼間均有空隙，無需潤化，磨擦損害小，可大幅度降低推動輸出功率，進而可完成較高速旋轉；

(3)泵腔內不用用食油密封性和潤化，可降低油蒸汽對超濾裝置的環境污染；

(4)泵腔內無縮小，無自動排氣閥。構造簡易、緊密，對被抽氣體中的塵土和水蒸氣不比較敏感；

(5)縮小較為低，對氡氣抽真空實際效果差；

(6)轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。